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什么是四探針方阻測試儀？該儀器主要由哪幾部分組成？
發(fā)布時間：2017-10-18 閱讀：1908次
    四探針方阻測試儀適用於半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，高等院校對半導(dǎo)體材料電阻性能的測試。
 
    配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購。

    四探針方阻測試儀主要由主機，測試架等部分組成，測試結(jié)果由液晶顯示器顯示，同時，液晶顯示器還顯示測量類型（電阻率，方塊電阻和電阻）以及探頭修正系數(shù)，主機由開關(guān)電源，DC/DC變換器，高靈敏度電壓測量部份，高穩(wěn)定度恒流源，和微電腦控制系統(tǒng)組成。由於采用大規(guī)模集成電路，所以儀器可靠性高，測量穩(wěn)定性好。 
測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高硬度鋼針，定位準(zhǔn)確，游移率小，使用壽命長。
 
    儀器是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高度，四探針方阻測試儀特別適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

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