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規(guī)格型號(hào)

FT-3110A

FT-3110B（可擴(kuò)展）

1.電阻

10^-5～2×10^5Ω

10^-6～2×10^5Ω

2.方塊電阻

10^-5～2×10^5Ω/□

10^-6～2×10^5Ω/□

3.電阻率

10^-6～2×10^6Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

4.測試電流

0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，

10mA，100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.電流精度

±0.1%

6.電阻精度

≤0.3%

7.PC軟件操作

PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報(bào)表生成等

8.壓力范圍（選購）

探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào)

9.探針

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%

銅鍍金或鎢鋼材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制

10. 可測晶片尺寸

載臺(tái)選購

選購:載臺(tái)晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）

其他規(guī)格可定制

11.分析模式

單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測試

12.重復(fù)性

單點(diǎn)重復(fù)性：重復(fù)性≤0.5% 

13.防護(hù)功能

具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)

14.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<600W